Gwida Lineari fil-Qasam tal-Proċessar tal-Wafer Semikondutturi Vantaġġi ta 'Applikazzjoni
Gwida lineari fil-qasam tal-ipproċessar tal-wejfer semikondutturi applikazzjoni ta 'vantaġġi sinifikanti, riflessi speċifikament fl-aspetti li ġejjin:
Pożizzjonament ta 'preċiżjoni għolja: B'reazzjoni għad-domanda għal preċiżjoni għolja fil-proċess tal-fotolitografija, hija adottata gwida lineari taċ-ċeramika, bi ħruxija RA<0.05μm after special polishing treatment, and with advanced drive and feedback system, sub-micrometer accurate positioning can be realized. This ensures the precise alignment of the mask plate and wafer in the photolithography process, guaranteeing the accuracy of the chip's critical dimensions (CD), such as a 12-inch wafer fab after the application of the key dimensions of the chip manufacturing deviation reduced by 40%, which greatly improves the precision and yield of chip manufacturing.
Indafa għolja: L-ambjent tal-manifattura tas-semikondutturi jirrikjedi grad għoli ħafna ta 'ndafa, gwida lineari taċ-ċeramika nnifisha mhix faċli biex tassorbi l-partiċelli, u tista' taħdem b'mod stabbli f'ambjent ta 'vakwu, li tnaqqas b'mod effettiv l-impuritajiet iġġenerati mill-gwida fuq it-tniġġis tal-wejfer, biex tevita difetti minħabba l-partiċelli li jeħilsu miċ-ċippa kkawżata miċ-ċippa, biex tiżgura l-proċess ta' manifattura taċ-ċippa.
Stabbiltà għolja u rispons qawwi: Fl-inċiżjoni u proċessi oħra, l-ipproċessar tal-wejfer, hemm start-stop frekwenti u bidla fid-direzzjoni, sistema ta 'ċirkolazzjoni tal-ballun ottimizzata wara l-gwida lineari, tista' tagħmel l-aċċellerazzjoni tal-kommutazzjoni tas-slider sa 15g, fl-istess ħin, l-intoppi tal-kontroll tal-moviment tal-moviment tal-moviment ta 'l-iżball ta' moviment fi ± {0. protezzjoni, ittejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni. Is-sistema hija mfassla biex tipprovdi kontinwità u stabbiltà għall-ipproċessar tal-wejfer u ttejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni.
